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詳情
本設備是鈣鈦礦液涂布-真空-老化一體化設備。采用直線電機驅動載臺運動,狹縫式涂布系統上下運動,在載臺上的ITO/FTO導電玻璃平板上在一定距離進行精密涂布成形,在涂布后進入真空腔進行快速真空干燥成形鈣鈦礦膜片。
技術要求和參數:
1.1 適用基板尺寸:最大可放置300mm×300mm的基材,帶真空吸附載臺;
1.2 基板類型:ITO/FTO導電玻璃平板;
2.1.1 涂布:日本制高精密產品用不銹鋼涂布頭;
2.1.2 最大涂布面積300×300mm;
2.1.3 涂頭高度可設定范圍 0-50mm;
2.1.4 Z軸分辨率:0.0001mm;Y軸分辨率:0.001mm
2.1.7 采用無接觸檢測方式,涂頭與平臺平面的平行度使用千分頭設置調整。(可選配電機調整方式)
2.1.8 涂頭墊片厚度:0.05\0.08\0.1mm(可以定制)
2.2.1 供液泵:精密微量泵;
2.3.1帶有預涂、涂頭封合及余液收集功能;
平臺材料:精密大理石平臺;
傳輸裝置:Y 軸和Z 軸的自動控制和定位,重復精度≤2μm;
平臺運動方式:采用無接觸的直驅電機驅動,無摩擦,穩定性好。
載臺采用特種合金材料或大理石;平整度:≤5μm;
玻璃基板固定方式:真空吸附;
配有涂后真空干燥腔。
配有涂后老化加熱功能
機體結構采用封閉腔體,可隔離揮發氣體和控制環境
操作系統采用工業控制系統控制;可實現數據采集和統計功能。
關鍵詞:
鈣鈦礦液涂布機
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